Сканирующий электронный микроскоп SM-50Х
СЭМ SM-50Х имеет высокое разрешение (до 0,6 нм), которое сочетается с высоким контрастом изображения благодаря автоэмиссионному катоду типа Шоттки и использованию передовых сверхчувствительных детекторов. Сдвоенная система торможения пучка, включающая высоковольтную туннельную технологию SuperTunnel и тормозящее поле предметного стола, конструкция объектива с низким уровнем аберраций и отсутствием магнитной утечки идеально подходят для получения изображений с высоким разрешением при низком ускоряющем напряжении, в том числе для анализа магнитных образцов.
Оптическая навигация, автоматические функции, хорошо продуманная эргономика, оптимизированные процессы эксплуатации – даже при отсутствии опыта эксплуатации прибора, вы можете быстро приступить к работе и выполнять съемки с максимально высоким разрешением.
Основные преимущества:
- сверхвысокое разрешение (0,6 нм) во вторичных электронах при низких ускоряющих напряжениях;
- электромагнитный комбинированный объектив уменьшает аберрации, значительно улучшает разрешение при низком напряжении и позволяет наблюдать магнитные образцы;
- сдвоенная система торможения пучка гарантирует высокое разрешение при низком напряжении;
- прецизионный эвцентрический пятиосевой рабочий стол с полной моторизацией;
- шлюз для загрузки образов шириной до 208 мм;
- большая рабочая камера;
- навигационная камера уже в базовой комплектации;
- регулируемая диафрагма с магнитным отклонением с шестью отверстиями, автоматическое переключение отверстий диафрагмы, отсутствие необходимости в механической регулировке позволяют быстро переключать ток пучка между аналитическим режимом и режимом высокого разрешения;
- системы автоматизации для качественной визуализации и настройки систем микроскопа.
| Тип микроскопа | Сканирующий |
| Область применения | Материаловедение |
| Направление деятельности | 2D-анализ |
| Объекты интереса | 11 нм – 100 нм |
| Характеристики электронной пушки | |
| Тип катода | Термополевой катод типа Шоттки |
| Пятиосевой моторизованный | Нет |
| Пятиосевой моторизованный эвцентрический | Есть |
| Двухосевой моторизованный | Нет |
| Максимальный вес образца, г | 500 |
| Максимальный диаметр образца, мм | 260 |
| Ход по осям X и Y, мм | 110 × 110 |
| Воспроизводимость по осям X и Y, мкм | < 1,0 |
| Ход по оси Z, мм | 65 |
| Поворот, град. | 360 |
| Наклон, град. | –10/+70 |
| Ширина камеры, мм | 360 |
| Детекторы | |
| Количество портов для установки дополнительных детекторов, шт. | 16 |
| Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли | Есть |
| ИК-камера для наблюдения положения образца в камере | Есть |
| Навигационная камера высокого разрешения | Есть |
| Интегрированная система измерения тока луча | Есть |
| Детектор вторичных электронов для низкого вакуума (LVD) | Нет |
| Внутрилинзовый детектор | Есть |
| Детектор обратно-отраженных электронов (BSED) | Опция |
| Детектор прошедших электронов (STEM) | Опция |
| Детектор для катодолюминесценции (CL) | Опция |
| Детектор Raman | Опция |
| ЭДС | Опция |
| ДОРЭ | Опция |
| ВДС | Опция |
| Режимы вакуума: | |
| Высокий вакуум, Па | < 5,0 × 10-6 |
| Низкий вакуум, Па | Нет |
| Безмасляная вакуумная система | Есть |
| Дополнительное оборудование: | |
| Литография | Опция |
| Крио-СЭМ | Опция |
| Манипулятор | Опция |
| Зондовые станции | Опция |
| Панель управления микроскопом | Опция |
| Трекбол | Опция |
| Предметный столик | |
| Тип столика | |
| Столик для охлаждения | Опция |
| Столик для нагрева | Опция |
| Столик для растяжения/сжатия | Опция |
| Вакуумный шлюз | Опция |
| Функция замедления пучка | Есть |
Фото продукции